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根据制程设备对于承重、刚性和抗振等要求,为半导体行业提供不同类型的被动防微振技术和装备。
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空压式主动除振系统
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通过控制器和各个方向的感应器对环境振动进行监测并基本消除环境的微弱振动,主要用途:电子显微镜;半导体检查装置等,除振范围为0.6Hz—100Hz,除振精度可达VC-E,F或以上,用于半导体工业和高精密、高稳定性的科研领域的精密仪器
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